指极微细的物类；极微妙的事理。

《淮南子·本经训》：“夫至大，天地弗能含也；至微；神明弗能领也。”《史记·龟策列传》：“故推归之至微，要絜於精神也。” 明 方孝孺 《送太学赵孝先从军》诗序：“昭昭生於太阴，隆隆隐於至微。”

极卑微。

晋 李密 《陈情事表》：“今臣亡国贱俘，至微至陋。”